HC-PL12等離子清洗機
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HC-PL12等離子清洗機
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桌上型微波等離子清洗機HC-PL12，采用優化的集成PLC工藝控制系統，特別適合研發和小批量生產等領域的需求。
產品特點
USB接口
以太網接口
遠程維護（VPN）
微波源上裝/側裝
易于操作的圖形化界面
技術指標
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外形尺寸 |
W880×H580×D720mm |
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腔體內部尺寸 |
W230×H230×D245mm |
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微波功率 |
2.45GHz，100-500W可調 |
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工藝氣路 |
標準1路，包括質量流量計和控制電磁閥等 |
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真空接口 |
DN16KF |
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電源 |
380V，50/60Hz 3.3KW不含真空泵 |
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控制單元 |
觸摸屏PLC控制 |
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真空規 |
Pirani真空計 |
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主要應用 |
半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強 |
上一個
無
